钨丝掩模大角度倾斜离子注入850nm垂直腔面发射激光器及其高频调制特性

采用钨丝掩模技术，通过调整制作过程中的工艺参数，研制出批量器件阈值在2mA以内，最低阈值为1．25mA 的850nm垂直腔面发射激光器．同时对TO封装的器件进行了高频特性测试。

结果表明3dB带宽最高为4．0GHz，在应用于光通信收发模块的商品化同类 器件中处于较好的水平，适合中、高速光通信应用。

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