钨丝微电极阵列的简易制备方法

本文阐述了一种针形钨丝微电极阵列简易、快速、低成本的加工制作方法。该方法采用基于MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精确密集排列和电极儿何尺寸的精确控制。

整个制作工艺简单快速，且玻璃模具可重复使用，大大降低了制作成本。克服了传统手工制作的金属丝针形微电极阵列精度低，难以批量加工的缺点，同时也克服了硅基针形微电极阵列工艺复杂、加工成本高、材质脆弱、难以深层植入的缺点。

而目制备不同微型结构的玻璃模具可以方便、灵活地控制微电极阵列的儿何参数。下一步我们还将进行基于该方法制备的针形微电极阵列的动物体内植入实验及相应的神经信号记录和刺激实验，对其实用效果做出进一步评估。