钨丝微电极阵列的制备方法

本文提出了一种基于钨丝的简易、廉价、快速针形微电极阵列制作方法。

首先利用MEMS技术制作加工制作具有微细沟槽和腔体结构的玻璃模具，然后将涂覆有光敏性聚酞亚胺绝缘层的微细钨丝(ø=100μm)镶嵌于玻璃模具沟槽中，并通过在模具上与微细沟槽相通的微腔中注入SU - 8胶，并光刻、固化，实现钨丝的精确排列和定位。之后，通过‘双面光刻”、电化学腐蚀方法实现钨丝的精确切割，最后通过电化学腐蚀完成电极针尖形状制作。