钨丝微电极阵列组装

钨丝微电极阵列的组装：将上述绝缘后的钨丝切为长度为3cm的细丝，然后将其嵌入上述玻璃模具的沟槽中，并用环氧胶固定。如图1所示。

电极位点暴露：将上述排列固定后的钨丝阵列进行正 - 反两次光刻，将欲切割并制作电极点的钨丝局部(即钨丝与电化学腐蚀竹道交叉处)Durimide层除去。如图2所示。这步工艺决定了最后微电极电极轴的长度，可以根据实际需要，通过绘制不同的光刻掩模板来改变微电极轴的长度。