2015年5月5日星期二

缠绕钨丝的CVD钨金相显微组织

图为CVD钨的金相显微组织图。由图可知:缠绕钨丝后,CVD钨的生长方向发生了较大改变。与钨管长度方向的垂直截面的显微组织由柱状晶(如图a)变成无取向的晶粒(如图b)。

沿钨管长度方向的平行断面,CVD钨晶粒沿钨丝圆周方向发散生长,各个方向上生长的晶粒相遇后互相干涉而变细(如图c),这与末缠钨丝的CVD钨管断面所显示的单一柱状晶组织有很大差别(如图a)。高倍沉积层显微组织(如图d)显不化学气相沉积钨与钨丝界面结合良好。


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