钨丝微电极阵列固定座制作

钨丝微电极阵列固定座制作：在模具上旋涂一层SU - 8光刻胶(ST - 82100,MicroChem Corp, MA, USA)，并静置30 min，使其完全填充模具上的凹坑，并通过光刻、固化方法制得由SU - 8形成的钨丝微电极阵列固定座。如图1所示。

微电极释放：在玻璃模具的电化学腐蚀管道中注入1M的NaOH溶液，并以固定的钨丝为阳极，铂电极作为阴极，施加10 V直流电压，使得钨丝在绝缘层去除处腐蚀断裂。然后将整块玻璃模具浸入HF溶液中约2min，使得整个电极脱离玻璃模具。如图2所示。