基于MEMS工艺制作的钨丝针形微电极阵列

本文提出的这种基于MEMS工艺制作的钨丝针形微电极阵列，既避免了手工制备方式针形微电极精度低、难以批量生产的缺陷，也克服了硅基针形微电极阵列制作工艺复杂、成本高的不足。而且基于微细钨丝的针形微电极阵列，与硅基微电极阵列相比，具有更优的机械强度和韧性，可更好地满足深层刺激或记录的需要。

此是为了降低制作成本，缩短加工周期，促进针形微电极阵列的广泛应用，为神经康复治疗和神经生物学研究奠定基础。