钨丝微电极阵列的基本设计概念

钨丝微电极阵列的基本设计概念如下图所示，该微电极阵列由三部分构成：绝缘层包裹的钨丝(尖端裸露)、SV - 8固定座和电极接口插座。设计的重点在于利用MEMS技术制备的模具实现钨丝微电极阵列问距和尺寸的精确控制，该设计具有以下特点:

(1)通过微细加工和光刻技术制作模具来定义钨丝电极轴的长度和问距，通过绘制不同掩模板可实现针形微电极阵列问距和尺寸的灵活改变。

(2)钨丝电极轴的前端通过电化学腐蚀形成锥状尖端，最大限度降低植入时刘一生物组织的损伤。

(3)与传统硅基微电极相比，钨丝具有更好的刚性和韧性，能够更好的适应植入区域的高活动性，有效的避免了植入后电极断裂的难题。